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电子特气管道系统

2019-12-05 15:33:35 0

威尼斯888手机版成立于2011年,企业注册资金2180万,是一家专业从事气体应用系统工程:电子特气管道系统、实验室管道供气系统、工业集中供气系统、大宗气体(液体)系统、高纯气体及特殊工艺气体二次配管系统、化学品输送系统、纯水系统,提供从技术咨询、整体规划、系统设计、选定设备、预制组件、项目现场安装建设、整体系统检测等全套工程技术服务和配套产品销售于一体的高新技术企业; 荣获“国家高新技术企业”认定并取得证书。工程项目覆盖半导体、集成电路、光电、新能源、微电子、生物医药、科研所、标准检测等高科技行业;为客户提供高纯介质输送系统全套解决方案。



特气管道系统 Special Gas Pipeline System 是指SiH4,NF3,Cl2 易燃易爆的气体、有毒的气体、有腐蚀性的气体、纯度特别高(超过99.999%)的一些具有高危险性,应确保安全性的特气储存、输送与分配过程的设备、管道和部件的总称,特气系统工程是用于实现特气系统安全使用的工程。企业提供从供气系统;排气处理、监视系统的综合管理系统;建立以安全为第一的特气管理输送系统。提供设计、选型、制造、安装、测试、调试和系统托管服务等整体解决方案。

特气管道系统由储存、输送、分配、控制四类设备组成。其中“存储”指气源部分(特气柜GC),“输送”指配管部分(一般用双套管),“分配”指二次配部分(气体分配柜VMB),“控制”指监督控制部分(气体管理系统GMS)。


特气管道系统特点
特气系统中的每台设备均配有PLC控制、彩色触摸屏操作,带有温度、压力、烟雾、泄漏监控报警,并可扩展地震监控报警;单台设备可以独成系统独立运转,也可多台设备用PLC或TGO连起来组成大系统,在监控中心统一监控管理,其报警系统还可以与安监系统、消防系统对接。  

电子特种气体是光电子、微电子等领域,特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基础性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率,并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性。
适合场合
芯片半导体、微电子企业、光伏太阳能、生物制药、新材料等行业,常配套用于溅射真空镀、沉积刻蚀、钝化清洗等设备


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