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特气管道系统的不锈钢选材

2020-04-03 10:04:31        0


对于特种工艺气体而言,由于在芯片生产中需要与芯片接触并参与反应,因此需选用经电解抛光(Electro-Polish)处理的316L不锈钢管,即SS316L EP管,其耐腐蚀性好,表面粗糙度低,Ramax(最大表面粗糙度)<0.7微米。光滑的表面使颗粒无从吸附滞留,从而保证气体的纯度。

对普通氮气而言,由于其并不作为制程中的反应气体,可以选用经光辉烧结(Bright Anneal)处理的316L不锈钢管,即SS316L BA管,也可以采用经化学清洗(Chemical Clean)处理的316L不锈钢管,即SS316L CC管。其Ramax为3-6微米。

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