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特气系统之吹扫和排气先容

2020-09-18 11:03:23        0

气体应用现状

在飞速发展的现代工业中,气体已经是必不可少的耗材,特别是,特气系统的广泛应用。一方面因为生产工艺的需求,如在半导体行业中的刻蚀、涂层,气体经过真空电解能和介质发生反应达到行业的生产需求;另一方面作为辅助气体、吹扫和动力源等也是用途广泛。



氮气吹扫和排气的作用

在使用具有危险性质的气体,也就是自燃性、可燃性、毒性和腐蚀性特种气体时,不管是管道有杂质残留、还是气体纯度要求等,都需要进行工艺管线的吹扫。

现代特气供气系统中,无论是为了大大提高特气系统安全性,还是为了保证每次使用气体的气体纯度,氮气吹扫和排气功能已经成为整套特气供气系统的标配。

下面,本文将尝试从吹扫和排气的专业角度对整套供气系统的架设提出建设性意见。



特气系统吹扫氮气应用

1、在特气输送系统的设计中,吹扫氮气模块设计已经成为标准化配置,一般大家常用的吹扫气是氮气,当然,有些用户也可以根据自身厂务的情况,使用氩气等惰性气体作为吹扫气体也是可以的。

2、惰性气体一般使用的是自吹扫系统。

3、对于易燃易爆性、毒性和腐蚀性特气,需要外接氮气吹扫。

4、对于常用的氢气、乙炔等气体,这边也建议用外接氮气吹扫,一方面可以保证管内的洁净度,另一方面也能大大提升使用安全。

5、为了避免给管道和阀门造成二次污染,吹扫氮气的气体纯度建议应保持在5级以上。


特气系统吹扫氮气使用注意事项

1、吹扫氮气的管线必须设置止回阀;

2、不相容性特种气体系统的吹扫氮气不得共用同一氮气源;

3、自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性特种气体系统的吹扫氮气应有独立的氮气源连接,不得与公用的氮气或工艺氮气系统相连。



以上,就是关于特气系统中氮气吹扫在整个提高整套特气供气系统安全性上和保证气体纯度上的作用,以及从吹扫和排气的专业角度提出的一些建议和使用注意事项先容。希翼以上内容能给您带来帮助,感谢您的阅读!


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