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电子气硅烷特气柜设计及硅烷气体管道要求

2020-03-04 11:32:14        0

 硅烷特气柜设计及气路管道要求

  硅烷在高科技种应用越来越广泛,硅烷有什么作用,硅烷控制系统设计有哪些要求?这里将进行先容。硅烷之所以在高科技中被广泛应用并且越来越重要, 首先是与它的特性有关,同时也与现代高技术的特殊需求有关。通过热分解或与其它气体的化学反应,

  


硅烷的有什么作用


  1、可由硅烷制得单晶硅、多晶硅、非晶硅、金属硅化物、氮化硅、碳化硅、氧化硅等一系列含硅物质。

  2、利用硅烷可以实现zui高的纯度、zui精细(可达原子尺寸)的控制和最灵活多变的化学反应。从而将各种含硅材料按各种需要制成复杂精细的结构, 这正是现代具有各种特异功能的材料和器件所要求的基本条件。

  硅烷特气柜设计要求

  1、硅烷由于其极其危险性,整套系统应该设置独立的惰性气体钢瓶进行吹扫,不得采用管道氮气吹扫;

  2、应该配备惰性吹扫装置、气体泄露侦测器、火焰探测器等;

  3、硅烷系统的排气管不得接入排风系统;

  4、排气管应采用惰性气体连续吹扫,吹扫气体流速不得小于0.3m/s

  5、排气的硅烷浓度较高时,应采用燃烧式尾气处理装置处理后排入大气。

  硅烷特气管道要求

  特气管道安装一般采用充氩气加热处理而成,EP管采用电解研磨方式加工而成。其内、外表面极其光亮。洁净管道的焊接除了要达到常规工业管道对焊缝的要求外,还要求焊接时管内、外表面不受污染,焊缝内、外表面必须与母材光亮度基本一致。

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